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小型滑軌式管式爐CVD系統(tǒng)

更新時間:  2019-05-19

產(chǎn)品型號:  

產(chǎn)品報價:  

所  在  地:  合肥市新站區(qū)穎河路22號

產(chǎn)品特點:  小型滑軌式管式爐CVD系統(tǒng) 小巧,升溫速度極快,它不僅可以抽真空,也可以通氣體保護(hù)。其結(jié)構(gòu)使得拆裝爐管方便,操作簡捷,使用者可直接將密封腔體移出爐體,加快降溫過程,透明石英管腔體可直觀的看到樣品燒結(jié)狀態(tài)。

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產(chǎn)品概述

設(shè)備特點

1200℃開啟式迷你真空管式爐爐體小巧,升溫速度極快,它不僅可以抽真空,也可以通氣體保護(hù)。其結(jié)構(gòu)使得拆裝爐管方便,操作簡捷,使用者可直接將密封腔體移出爐體,加快降溫過程,透明石英管腔體可直觀的看到樣品燒結(jié)狀態(tài)。爐管工件橫穿與進(jìn)口電阻絲的爐膛,溫場均勻,內(nèi)外溫差可控制在正負(fù)3度,滑軌爐設(shè)計可是樣品快速升溫或降溫。預(yù)熱的裝置可以很好控制固態(tài)源的蒸發(fā),可用于二維材料的制備等,是一款性價比*的快速升降溫爐。

 

技術(shù)參數(shù):

名稱

規(guī)格

小型滑軌式管式爐CVD系統(tǒng) CVD1200C 230D50 3ZLV

 

 

 

 

開啟式真空管式滑軌爐 

爐管尺寸

Φ50×1200mm 更多其他規(guī)格石英管可選(Φ25/60mm等)

主要參數(shù)

高溫度: 1200℃(使用時必須通入惰性氣體以防止?fàn)t管發(fā)生形變)

 工作溫度: ≤1100℃

 推薦升溫速率:≤20℃/min

 加熱區(qū)長度:230mm

 額定功率:2KW

 電壓:單相AC 208 - 240V, 50Hz

爐體結(jié)構(gòu)

雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C

高純狀氧化鋁纖維絕緣層,大限度節(jié)約能源

爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長爐子的使用壽命

溫控系統(tǒng)

模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)功能

 智能化30段可編程控制

 具有超溫及斷偶報警功能

 控溫精度: ±1 ℃

 K型熱電偶

 可安裝PC控制軟件對數(shù)據(jù)進(jìn)行實時采集(需另購)

 

溫控儀表(可選)

標(biāo)配儀表品牌為宇電,可其他品牌溫控儀表,如島電等。

管堵

多種規(guī)格管堵,防止來自內(nèi)部管子的熱輻射,管堵在加熱前必須*放入爐腔。石英管堵滿足潔凈實驗環(huán)境或者較高真空需求

密封系統(tǒng)

爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭。(包括精密針閥、指針式真空壓力表、軟管接頭)

 如需獲得較高的真空度,建議采用不銹鋼波紋管連接及數(shù)顯真空計(需另外訂購)

備注:本公司標(biāo)配法規(guī)格如下進(jìn)氣端Φ6卡套接口,可連接Φ6不銹管或者聚四氟管。

出氣端預(yù)留KF25接口,方便連接真空泵,KF16接口,方便連接數(shù)顯真空計,以及Φ9氣嘴接頭,以便出氣

擴(kuò)展端口

 如進(jìn)氣管道為橡膠軟管,則需將進(jìn)氣口更換成Φ9氣嘴接頭

真空度

雙極旋片機(jī)械泵:10^-1Pa

 分子泵機(jī)組:10^-3 Pa

可選配本公司配套高低真空

 

外形尺寸

650mm(L) ×450mm(W) × 550mm(H)

凈重

40Kg

2路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

MFC-2Z

電壓

 220VAC  單相  50/60Hz

針閥材質(zhì)

 316不銹鋼

量程

100sccm200sccm(可根據(jù)工藝要求提供多種量程選擇)

工作溫度

 545

外型尺寸

 600(L) x 600(W) x 750(H) mm

電壓

 AC220V/50Hz單相

功率

 23W

真空系統(tǒng)

LVU-10

殼體尺寸

600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm

大承載量

1000 Lbs 

抽氣速率

10m³/h

極限真空度:10-1Pa

雙層立式油污過濾器(PE材質(zhì))與真空泵連接

質(zhì)保期

一年保修,終身技術(shù)支持。

 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

相關(guān)應(yīng)用

爐膛內(nèi)襯可以單獨更換(額外付費)

 可以根據(jù)要求設(shè)計成帶有滑動法蘭的爐子

應(yīng)用注意事項

爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)

 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

 石英管的長時間使用溫度<1100℃

 對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)


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